ガリウム塩化合物

トリメチルガリウム（TMGまたはTMGaと略されることが多い）は、化学式Ga(CH3)3で表される有機ガリウム化合物です。この化合物は無色の自然発火性液体であり、トリメチルアルミニウムとは対照的にモノマー構造を示します。 トリメチルガリウムは、光電子デバイスや太陽電池パネルの製造に用いられるガリウム含有化合物半導体の合成に不可欠なプロセスである有機金属気相成長法 (MOVPE) において、広く利用されているガリウムの有機金属源として機能します。